洁净度等级表
ISO-14644的洁净度等级表。
一、净化工程洁净室主要根据室内洁净度、气流形式、控制对象、结构等特点分类。按室内洁净度分类主要分为1级、10级、100级、10000级、10000级。按控制对象分类分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室以空气中的悬浮尘埃为控制对象，生物洁净室以悬浮生物粒子(微生物)为控制对象。洁净室它是悬浮粒子浓度受控，其建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的粒子较少的房间。室内的其它参数包括：温度、温度、气压等，按需要受控。
二、ISO-14644的洁净度等级表。
洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级ISO-14644
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空气洁净度等级（N） |
≥表中粒径的*大浓度限值（个/m3） |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
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|
1 |
10 |
2 |
/ |
/ |
/ |
/ |
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
/ |
/ |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
/ |
|
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
/ |
|
5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
7 |
/ |
/ |
/ |
352000 |
83200 |
2930 |
|
8 |
/ |
/ |
/ |
3520000 |
832000 |
29300 |
|
9 |
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/ |
/ |
35200000 |
8320000 |
293000 |
洁净度等级表（ISO 14644标准）
ISO等级 ≥0.1μm粒子限值（个/m³） ≥0.5μm粒子限值（个/m³） 典型应用场景
ISO 1级 ≤10 ≤2 纳米级半导体制造
ISO 3级 ≤1,000 ≤102 **芯片光刻区
ISO 5级 ≤100,000 ≤3,520 生物制药A级无菌灌装区、百级手术室
ISO 7级 — ≤352,000 万级洁净车间（电子装配、医疗器械生产）
ISO 8级 — ≤3,520,000 十万级食品包装、普通实验室
核心分类与行业适配
工业洁净室
控制对象：悬浮尘埃粒子（如0.1μm~5.0μm常规粒子）
典型等级：
ISO 1-3级：半导体晶圆制造（带宽<2μm工艺）
ISO 5-7级：液晶面板组装、精密液压设备装配7
生物洁净室
控制对象：悬浮微生物及超微粒子（<0.1μm）
典型等级：
ISO 5级：无菌药品分装、移植手术室（动态百级）
ISO 7-8级：食品微生物检测、普通生物实验室
特殊行业标准对照
医药GMP规范：A级区对应ISO 5级（微粒≤3520个/m³且微生物<1CFU/m³）
中国GB 50073：对电子厂房增设0.1μm微粒动态控制（如ISO 5级要求0.1μm粒子<1000个/m³）
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