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什么是无尘洁净室等级划分与静态动态？
日期：2025-04-30 19:27
浏览次数：7418
摘要：
什么是无尘洁净室等级划分与静态动态？笔者从事洁净行业多年，与大家一起去探讨一下。
一、洁净等级划分：十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级等。（静态）
二、联邦209E标准：每立方英尺空间内粒径为0.5um的粒子不超过多少个。美国联邦标准FS209E中的洁净等级
| 等级名称 | 等级限值 | ||||||||||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | |||||||||
| 容积单位 | 容积单位 | 容积单位 | 容积单位 | 容积单位 | |||||||||
| 国际单位 | 英制 单位 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | ||
| M1.0 | | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | / | / | ||
| M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265.0 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | / | / | ||
| M2.0 | | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | / | / | ||
| M2.5 | 10 | 12400 | 350.0 | 2650 | 75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | / | / | ||
| M3.0 | | 35000 | 991.0 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | / | / | ||
| M3.5 | 100 | / | / | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | / | / | ||
| M4.0 | | / | / | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | | / | | |
| M4.5 | 1000 | / | / | / | / | / | / | 35300 | 1000 | 247 | 7 | ||
| M5.0 | | / | / | / | / | / | / | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | ||
| M5.5 | 10000 | / | / | / | / | / | / | 353000 | 10000 | 2470 | 70 | ||
| M6.0 | | / | / | / | / | / | / | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 | ||
| M6.5 | 100000 | / | / | / | / | / | / | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | ||
| M7.0 | | / | / | / | / | / | / | 10000000 | 283000 | 61800 | 1750 | ||
三洁净室的空间占用状态：
1、空态：洁净室所有设施要安装完成并在工作，但无生产设备、材料或人员在场。
2、静态：洁净室所有设施在运行，生产设备安装完成并心供需双方同意的方式运行，但无人员在场。
3、动态：设施、设备心规定的方式运行，有规定数量的人员按事先同意的方式在工作。
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