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什么是微电子净化工程解决方案相关
日期：2025-05-07 03:29
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摘要：什么是微电子净化工程解决方案相关, 无尘车间梓成净化在此与大家一起去探讨一下。
一、微电子技术是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件基础上的高新电子技术，特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快，微电子技术对信息时代具有巨大的影响。
二、微电子无尘洁净室三尘原则：
A、禁尘。即指整个无尘洁净室内禁止有尘埃，而且还明文规定在多少范围内的气流多少。
B、带尘。禁止人员带尘进入无尘洁净室，任何进入无尘洁净室的人员全部能过风淋室缓冲通道吹淋后方可进入。（风淋室是员工进入洁净室或无尘车间必备的净化设备之一，它可以有效地减少员工进出洁净室所带来的污染问题，对进入无尘洁净室车间中起到很大作用。）
C、产尘。禁止无尘洁净室车间内部产尘，四周禁止有尘埃死角盲区，全部采用内、外圆弧收边
三、微电子净化工程解决方案相关：
A、微电子净化工程一般包括：
1、洁净生产区
2、洁净辅助间（包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等）
3、管理区（包括办公、值班、管理和休息等）
4、设备区（包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房）
B、微电子净化工程净化参数：
1、换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa
2、平均风速：10级、100级0、3－0、5m/s。
3、温度冬季＞16℃；夏季＜26℃；波动±2℃。温度45－65％；GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。
4、噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10％－30％；照度300LX。
C、微电子净化工程结构材料
1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2、地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。
3、送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。
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