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无尘室黄光区操作

日期:2024-03-28 21:37
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摘要:光学黄光区操作相关须知: 1、 湿度及温度会影响对准工作,在黄光区应注意温度及湿度,并应减少对准机附近的人,以减少湿、温度的变化。 2、己上妥光阻,而在等待对准曝光之芯片,应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内, 盒盖必须盖妥。 3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得携出黄光区以免感光。 4、光罩使用时应持取边缘,不得触及光罩面,任何状况之下,光罩铬膜不得与他物接触,以防刮伤,光罩之落尘可以氮气吹之。
光学黄光区操作相关须知:
1、湿度及温度会影响对准工作,在黄光区应注意温度及湿度,并应减少对准机附近的人,以减少湿、温度的变化。
2、己上妥光阻,而在等待对准曝光之芯片,应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内,盒盖必须盖妥。
3、上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得携出黄光区以免感光。

4、光罩使用时应持取边缘,不得触及光罩面,任何状况之下,光罩铬膜不得与他物接触,以防刮伤,光罩之落尘可以氮气吹之。

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