FFU風機過濾單元係統已成潔淨室主流方案

摘要：<p style="text-indent: 2em"><span style="font-size: 14px">&nbsp;&nbsp;&nbsp;<span style="font-size: 18px">&nbsp;&nbsp;</span></span><span style="font-size: 16px">&nbsp;&nbsp;<span style="font-size: 22px">&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;FFU風機過濾單元係統已成潔淨室主流方案<br /> </span><br /> </span></p> <p align="left"><span style="font-size: 16px">根據潔淨室空氣循環特點可以將潔淨室分為三種類型：循環空調機配合高效送風口係統、循環風機配合濕式密封係統和FFU風機過濾單元循環係統。</span></p> <p align="left"><span style="font-size: 16px">**種形式FFU風機過濾單元在小規模低等級要求的潔淨室設計中被廣泛應用，對於大麵積高等級的潔淨室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。</span></p> <p align="left"><span style="font-size: 16px">**種形式的FFU風機過濾單元設計可以滿足集成電路製造潔淨室大麵積高等級的要求，但運行成本較高，並且潔淨室風速、風量調節困難，係統升級改造困難，因此操作靈活性很低。</span></p> <p align="left"><span style="font-size: 16px">第三種的FFU風機過濾單元循環係統不僅節省運行空間、潔淨度**性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行係統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體製造的需求，因此在半導體製造業FFU循環係統逐漸成為*主要的潔淨設計方案。</span></p> <p align="left"><span style="font-size: 16px">FFU風機過濾單元循環係統的特點是：整個潔淨室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合後通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對於工藝層為負壓。此外，還有生產輔助區為集成電路製造廠務設備區域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。</span></p> <p align="left"><span style="font-size: 16px">&nbsp;注：我司生產的FFU送風單元全部采用國際上*先進的數控衝床設備，數控衝床能更加準確定位精度在&plusmn;0.01mm。我司通過美國質量認證機構質量體係認證,詳情請致電13560190937谘詢，我們將竭誠為您提供上等的服務。</span></p> <p align="left">&nbsp;</p>