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什麼是無塵潔淨室光學實驗室使用相關
日期:2025-05-06 23:10
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摘要:
一、無塵潔淨室構成是由下列各項係統所組成:
A、空調淨化係統:空調機組、空氣過濾器係統、管道等。
B、天花板係統:包括吊杆、綱梁、彩鋼板天花等。
C、隔牆與立牆:牆、窗戶、門。
D、地板:PVC地板、高架地板、防靜電地板。
E、照明係統:日光淨化燈、紫外燈管等。
二、潔淨等級劃分:十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級等靜態。聯邦209E標準:每立方英尺空間內粒徑為0.5um的粒子不超過多少個。
三、光學實驗室使用相關:
1、進入實驗室後,應先戴上手套後,再取鑷子,以免沾汙。
2、唯有使用乾淨的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭汙染,必須拿去清洗,方可再使用。
3、持鑷子應采"握筆式"姿勢挾取芯片。
4、鑷子使用後,應放於各站規定處,不可任意放置,如有特殊製程用鑷子,使用後應自行保管,不可和實驗室內各站之鑷子混合使用。
5、挾取芯片時,順序應由後向前挾取,放回芯片時,則由前向後放回,以免刮傷芯片表麵。
6、鑷子僅可做為挾取芯片用,不準做其它用途。
7、挾取芯片時,"短邊" (鋸狀頭)置於芯片正麵,"長邊" (平頭)置於芯片背麵,挾芯片空白部分,不可傷及芯片。
8、嚴禁將鑷子接觸酸槽或水槽中。
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